Росатом и РАН разработают российский рентгеновский фотолитограф для производства микроэлектроники

  Росатом и Академия наук разработают мощный фотолитограф для производства микроэлектроники. Об этом рассказал научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ, г. Саров, Нижегородская область), академик РАН Александр Сергеев в интервью журналу «Эксперт», опубликованному в понедельник.  Атомная энергия 2.0 Read More