ИФМ РАН к 2030 году завершит разработку российского рентгеновского EUV-литографа

  В Национальном центре физики и математики (НЦФМ) прошел научный семинар, посвященный EUV-литографии и перспективам создания отечественного EUV-литографа для микроэлектроники.
Как рассказал научный руководитель НЦФМ академик РАН Александр Сергеев, инициатива проведения семинара исходила от обучающихся в Центре магистрантов:  Атомная энергия 2.0 Read More